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纳米级光学干与测厚仪

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纳米级光学干与测厚仪
纳米级光学干与测厚仪
概况

纳米级光学干与测厚仪

操纵: PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·堆积膜·金属外表漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层

产物简介

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪操纵光谱相干丈量学,用于丈量半导体系体例造进程中的薄膜厚度,和装置在半导体系体例造装备上的APC和薄膜的品质节制,可以或许丈量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。   

PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其焦点部件首要源自于美国Ocean Optics无限公司,其微型光谱仪体积玲珑,可对全谱停止疾速收罗,产物操纵普遍,可用于生化、光电、航空航天、情况掩护、宁静检测、农业等行业,可停止 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属外表涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。 

任务道理:分光干与法

当光入射到样品内部,会产生多重反射景象,多重反射光会因为彼此之间的相位差加强或削弱,而相位差取决于样品的折射率和光程,是以来自于样本的反射光谱与其厚度有间接干系。光谱干与法便是操纵这类怪异的光谱阐发出样品的厚度,该厚度丈量仪器按照测试规模的差别首要利用曲线拟合和FFT两种方式对光谱进行阐发。

操纵规模: 

•PET薄膜厚度丈量

•涂层厚度丈量,如HC,掩护膜,光刻胶,OCA,离型膜等涂布厚度或克重的丈量

•用于包装的PET外表介质膜克重或膜厚丈量

•金属外表通明和半通明漆膜涂层

 

产物上风:

在线扫描式或多点丈量(多达15点)同时丈量

经由过程光强动摇校订功效完成长时候不变丈量

提示及警报功效(经由过程或失利)

反射(透射)和光谱丈量

同步丈量多层厚度

高速、高精确度

 

参数:

型号

PSD-2000W

PSD-2000P

PSD-2000R

可测膜厚规模

15 nm - 100 um

2nm - 200 um

200nm-3000um

丈量可反复性

0.02 μm

丈量精确

±1%

光源

钨卤素灯

丈量波长

380 - 1050 nm

250 - 1050 nm

900 - 1200 nm

光斑尺寸

约φ1 mm

任务间隔

10 mm

可测层数

最多10层

阐发

FFT 阐发,拟合阐发

丈量时候

19 ms/点

内部节制功效

Ethernet

接口

USB 2.0(主单位与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口)

电源

AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz

功耗

约330W(2通道)~450W(15通道)



PSD-200尝试室型纳米级光学干与测厚仪

          

用处:

·太阳能减反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学玻璃镀膜等丈量。

·PET膜通明胶膜厚丈量

·膜厚,色彩,粗拙度,透过率,反射率,雾度

·可用于尝试室离线丈量

手艺程度:

·精度0.1%,到达国际同类产物程度

·检测通明和半通明涂层

·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率丈量仪,具备丈量速率快,丈量精确,操纵简洁的特色。

 

 

 

手艺参数:

产物范例

可见光

紫外+可见光

厚度丈量

15nm-100μm

1nm-100μm

折射率

厚度请求100nm以上

厚度请求50nm以上

精确性

2nm或0.5%

精度

0.1nm

丈量时候

小于1秒

光斑巨细

约莫1mm




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