纳米级光学干与测厚仪
操纵: PET、PE、PMMA等薄膜·离型膜·堆积膜·金属外表漆膜涂层·膜涂层·塑料涂层
产物简介:
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪操纵光谱相干丈量学,用于丈量半导体系体例造进程中的薄膜厚度,和装置在半导体系体例造装备上的APC和薄膜的品质节制,可以或许丈量单层/多层/涂布层在不透光基板上的厚度,精准度可达纳米级。
PSD-2000型在线纳米级光学膜厚仪,其焦点部件首要源自于美国Ocean Optics无限公司,其微型光谱仪体积玲珑,可对全谱停止疾速收罗,产物操纵普遍,可用于生化、光电、航空航天、情况掩护、宁静检测、农业等行业,可停止 Low-E玻璃镀膜检测,ITO玻璃镀膜检测,PET涂布在线膜厚检测,金属外表涂层检测,半导体,LCD膜厚检测等。
任务道理:分光干与法
当光入射到样品内部,会产生多重反射景象,多重反射光会因为彼此之间的相位差加强或削弱,而相位差取决于样品的折射率和光程,是以来自于样本的反射光谱与其厚度有间接干系。光谱干与法便是操纵这类怪异的光谱阐发出样品的厚度,该厚度丈量仪器按照测试规模的差别首要利用曲线拟合和FFT两种方式对光谱进行阐发。

操纵规模:
•PET薄膜厚度丈量
•涂层厚度丈量,如HC,掩护膜,光刻胶,OCA,离型膜等涂布厚度或克重的丈量
•用于包装的PET外表介质膜克重或膜厚丈量
•金属外表通明和半通明漆膜涂层
产物上风:
在线扫描式或多点丈量(多达15点)同时丈量
经由过程光强动摇校订功效完成长时候不变丈量
提示及警报功效(经由过程或失利)
反射(透射)和光谱丈量
同步丈量多层厚度
高速、高精确度
参数:
型号 | PSD-2000W | PSD-2000P | PSD-2000R |
可测膜厚规模 | 15 nm - 100 um | 2nm - 200 um | 200nm-3000um |
丈量可反复性 | 0.02 μm |
丈量精确 | ±1% |
光源 | 钨卤素灯 |
丈量波长 | 380 - 1050 nm | 250 - 1050 nm | 900 - 1200 nm |
光斑尺寸 | 约φ1 mm |
任务间隔 | 10 mm |
可测层数 | 最多10层 |
阐发 | FFT 阐发,拟合阐发 |
丈量时候 | 19 ms/点 |
内部节制功效 | Ethernet |
接口 | USB 2.0(主单位与电脑接口);RS-232C(光源与电脑接口) |
电源 | AC100 V — 240 V, 50 Hz/60 Hz |
功耗 | 约330W(2通道)~450W(15通道) |
PSD-200尝试室型纳米级光学干与测厚仪
用处:
·太阳能减反膜玻璃,TCO玻璃,Low-E玻璃,ITO玻璃,光学玻璃镀膜等丈量。
·PET膜通明胶膜厚丈量
·膜厚,色彩,粗拙度,透过率,反射率,雾度
·可用于尝试室离线丈量
手艺程度:
·精度0.1%,到达国际同类产物程度
·检测通明和半通明涂层
·反射式太阳能玻璃的膜厚/折射率丈量仪,具备丈量速率快,丈量精确,操纵简洁的特色。
手艺参数:
产物范例 | 可见光 | 紫外+可见光 |
厚度丈量 | 15nm-100μm | 1nm-100μm |
折射率 | 厚度请求100nm以上 | 厚度请求50nm以上 |
精确性 | 2nm或0.5% |
精度 | 0.1nm |
丈量时候 | 小于1秒 |
光斑巨细 | 约莫1mm |